Ученые научного центра Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого создали отечественный литографический комплекс

Ученые научного центра «Передовые цифровые технологии» Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого создали отечественный литографический комплекс из установок для безмасочного получения изображения на подложке и плазмохимического травления кремния.

Комплекс состоит из двух частей. Первая установка используется для получения изображения на подложке, без использования специальной маски. Такая технология, по словам разработчиков намного менее затратна по сравнению с классической литографией как по деньгам, так и по времени, в которой для получения изображения используются специализированные шаблоны. Установка работает под управлением специализированного ПО и полностью автоматизирована.Второй элемент комплекса — промышленный образец установки плазмохимического травления кремния. Разработка комплекса поможет решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники.

Авторы проекта утверждают, что созданные на такой установке мембраны «превосходят по надежности и чувствительности изготовленные методами жидкостного или лазерного травления». Они подчеркнули также, что это полностью отечественный продукт.

По оценкам разработчиков, отечественная установка будет стоить примерно 5 миллионов рублей, тогда как зарубежные аналоги оцениваются в 10-13 миллиардов рублей.

В планах специалистов СПбПУ — внедрить машинное обучение на обе установки, а также продолжить создание технологий и для силовой электроники.